Ventosa de vacío de cerámica de carburo de silicio de alúmina

Rendimiento del producto

Las principales ventajas de los platos de vacío cerámicos, en particular de los platos de vacío cerámicos porosos, se derivan de las propiedades únicas de los propios materiales cerámicos, que se manifiestan específicamente en los siguientes aspectos:

• Dureza y resistencia al desgaste excepcionales: Los materiales como la cerámica de alúmina y la cerámica de circonio utilizados en estos mandriles suelen alcanzar una dureza Mohs de 9 o superior, superando con creces a la mayoría de los metales y plásticos. Esto otorga a la superficie porosa del mandril una resistencia extrema al desgaste, evitando rayones o abrasión durante la manipulación prolongada de piezas de trabajo con polvo fino o superficies rugosas. Mantiene la planitud y el rendimiento de sellado de la superficie de succión durante períodos prolongados, lo que garantiza una vida útil excepcionalmente larga. Esta característica fundamental es inherente tanto a las baldosas cerámicas con un 96 % de alúmina como a las placas cerámicas de circonio utilizadas en los mandriles cerámicos al vacío.
• Planitud y estabilidad dimensional excepcionales: las cerámicas de alúmina de precisión o las cerámicas de circonio para mandriles se someten a un rectificado de ultra-precisión después de la sinterización, logrando una planitud superficial sub-micrónica o incluso nano-. Esto es crucial para procesar sustratos cerámicos de alúmina, sustratos con revestimiento giratorio de alúmina-o sustratos cerámicos de circonio. Además, la cerámica presenta un coeficiente de expansión térmica extremadamente bajo. En entornos con importantes fluctuaciones de temperatura, la forma y las dimensiones de un plato de cerámica porosa permanecen prácticamente sin cambios. Esto garantiza una adsorción precisa y estable, evitando la reducción de la adhesión o el desplazamiento de la pieza de trabajo causado por la deformación térmica.
• Estabilidad química y limpieza excepcionales: las cerámicas de alúmina y circonio en mandriles de vacío cerámicos demuestran una excelente resistencia a la corrosión contra la mayoría de los ácidos, álcalis y solventes, sin oxidarse ni sufrir reacciones químicas. Su matriz densa y no-porosa (con porosidad interna controlada) no absorbe gases, humedad ni partículas, lo que facilita su fácil limpieza. El rendimiento permanece sin cambios bajo -esterilización a alta temperatura o limpieza ultrasónica. Esta propiedad hace que los mandriles de vacío cerámicos porosos sean totalmente adecuados para entornos de producción ultra-limpios, como semiconductores y productos biofarmacéuticos, evitando la contaminación del producto.
• Excelentes propiedades térmicas y eléctricas: ciertas cerámicas como la circona y el nitruro de aluminio utilizadas en los mandriles también poseen una conductividad térmica y un aislamiento eléctrico superiores. La cerámica de alúmina es en sí misma un excelente material aislante. Esto hace que los mandriles de vacío cerámicos funcionen excepcionalmente bien en aplicaciones que requieren disipación de calor o protección contra interferencias electrostáticas, como la manipulación de chips LED y el procesamiento de obleas de silicio en una mesa de mandriles porosa.
• Distribución de vacío estable y uniforme: La característica definitoria de un mandril de vacío de cerámica porosa es su capacidad para proporcionar una retención de vacío estable y uniforme en un área grande. Beneficiándose de los micro-poros interconectados en todo el material, la fuerza del vacío se distribuye uniformemente por toda la placa de vacío porosa, eliminando puntos de tensión localizados y minimizando el riesgo de distorsionar o dañar piezas de trabajo delgadas y planas como obleas, sustratos o paneles.