Recientemente, las empresas de ciencia y tecnología de materiales domésticos han desarrollado con éxito un nuevo tipo de material cerámico de carburo de silicio con pureza tan alta como 99 {{1 1}} 999%, y este avance mejorará significativamente el rendimiento y la confiabilidad de los equipos de fabricación de semiconductores .} con el proceso de los nodos continuos de los semiconductores que continúan con los requisitos de la pureza de las partes clave y el material de los materiales de los materiales y el material de los materiales son los requisitos de los semiconsados; Este avance tecnológico para la actualización de los equipos de semiconductores domésticos proporciona un importante soporte de materiales.
Destacados de avance técnico:
1. Control de pureza ultra alta: el contenido de impureza del metal se controla a menos de 0 . 1ppm a través del innovador proceso de deposición de fase de vapor y tecnología de purificación, que cumple con los requisitos de 7 nm y debajo del proceso.
2. Excelente rendimiento térmico: rendimiento estable a 1000 grados con conductividad térmica de 270W/mk .
3. Excelente resistencia a la corrosión: resistente a ácidos fuertes, bases fuertes y entornos corrosivos de plasma .
Ventajas de la aplicación de equipo semiconductor:
1. Equipo de grabado: utilizado como material de revestimiento de cavidad para reducir la contaminación del metal y mejorar la uniformidad de grabado
2. crecimiento epitaxial: utilizado como bandejas y bases para garantizar la calidad de la capa epitaxial .
3. Implantación de iones: reemplaza los componentes tradicionales de cuarzo y extiende los intervalos de mantenimiento del equipo .
Un experto de Ceramicstimes dijo: "La fabricación de semiconductores se está moviendo hacia nodos de proceso más finos, y la cerámica de carburo de silicio de alta pureza se convertirá en un material clave para el equipo de próxima generación . Este avance reducirá efectivamente la dependencia de China de los materiales importados para el equipo de semiconductores."
Actualmente, el material ha aprobado las pruebas de verificación de los principales fabricantes de equipos de semiconductores nacionales y se espera que alcance la producción en masa en el cuarto trimestre de 2024. Con el rápido desarrollo de tecnologías emergentes, como 5G y la inteligencia artificial, la demanda del mercado de la cerámica de carburo de silicón de alta puridad continuará creciendo, y se espera que se espere que entre 2026 el tamaño del mercado global ex realización de 5 billetes de silicón de silicón. yuan .
Dinámica comercial:
CeramicStimes invirtió 500 millones de yuanes para construir una línea de producción especial, la finalización de la capacidad de producción anual del proyecto de hasta 200, 000, satisfará efectivamente las necesidades de los fabricantes de equipos de semiconductores nacionales . al mismo tiempo, la empresa está trabajando con un número de institutos de investigación para optimizar más bien las propiedades de los materiales, para desarrollar más equipos de semiconductores semiconductores. Soluciones .
Este avance tecnológico no solo llena el espacio en blanco de la cerámica doméstica de carburo de silicio de alta pureza, el control más independiente del equipo semiconductador de China proporciona una importante garantía de material, promoverá fuertemente el proceso de localización de la cadena de la industria de los semiconductores .
