Descripción de productos
Los anillos de deposición de cerámica de alúmina sirven como componentes consumibles críticos dentro de las cámaras de reacción de los equipos de deposición química de vapor (CVD) y de deposición física de vapor (PVD)-dispositivos centrales en la fabricación de chips semiconductores. Sus demandas de selección de materiales y aplicaciones son excepcionalmente estrictas. Normalmente se instalan alrededor de portadores de obleas (mandriles electrostáticos), y forman parte del espacio de reacción del proceso. En el exigente entorno de fabricación de semiconductores, la función principal del anillo de deposición es proteger los costosos componentes centrales (como los mandriles electrostáticos) de la contaminación y la deposición de subproductos del proceso, garantizar la uniformidad del proceso y mantener la limpieza y estabilidad de la cámara.
Rendimiento del producto
- Resistencia a la corrosión excepcional: Capaz de resistir la erosión de diversos gases de plasma corrosivos y altamente reactivos (p. ej., gases a base de flúor-, cloro-) utilizados en procesos CVD/PVD, lo que garantiza una vida útil prolongada.
- Resistencia superior a altas-temperaturas: Mantiene la estabilidad estructural y el rendimiento a temperaturas de proceso que alcanzan cientos o incluso miles de grados Celsius sin deformarse ni fundirse, lo que demuestra sus características como cerámica de alúmina de alta-temperatura.
- Alta pureza y baja contaminación: las cerámicas de alúmina de alta-pureza (p. ej., 99,9 % o más) minimizan la liberación de contaminantes como iones metálicos del propio material a la cámara de proceso en condiciones de plasma y temperatura altas-, lo que evita la contaminación de las obleas. Las aplicaciones de grado semiconductor-buscan la máxima pureza de las cerámicas de alúmina al 99,99 %.
- Excelente resistencia mecánica y dureza: Posee suficiente rigidez para mantener la estabilidad dimensional mientras soporta tensiones mecánicas y fuerzas de instalación. Las propiedades mecánicas robustas forman la base de todas las formas-ya sean placas de cerámica de alúmina, varillas de cerámica de alúmina (barras de alúmina) o tubos de alúmina.
- Aislamiento superior: Como material aislante, la cerámica de alúmina no interfiere con la función de adhesión del mandril electrostático para obleas, lo que garantiza la seguridad y estabilidad del proceso.
- Conductividad térmica moderada: ayuda a homogeneizar el campo de temperatura dentro de la cámara y evita el sobrecalentamiento. Esta es una propiedad valiosa para componentes de disipación de calor como sustratos cerámicos de alúmina o placas de enfriamiento cerámicas.
- Alta precisión y maquinabilidad: mediante técnicas avanzadas de conformado cerámico y mecanizado de precisión, se pueden lograr formas complejas con una precisión dimensional y un acabado superficial excepcionales.
Aplicación del producto
- Materias primas: requieren polvo de alúmina fino, especialmente para cerámicas de alúmina de alta-pureza. El óxido de aluminio (Al2O3) es la sustancia química base.
- Conformado y sinterizado: involucra a fabricantes de cerámica de alúmina que utilizan técnicas para producir piezas en bruto de cerámica de alúmina, como bloques de alúmina, placas de alúmina (láminas de alúmina), tubos de alúmina (tubos de al2o3) y discos de alúmina.
- Mecanizado de precisión: realizado por especialistas en mecanizado de cerámica de alúmina o proveedores de piezas, transformando piezas en bruto en componentes finales como placas de cerámica de alúmina, varillas de cerámica de alúmina o piezas estructurales complejas de cerámica de alúmina.
- Otras formas y aplicaciones: Más allá de los anillos de deposición, las cerámicas de alúmina tienen diversos usos como semiconductores, como sustratos cerámicos de alúmina (sustrato de al2o3) para embalajes, membranas cerámicas de alúmina y tubos de fibra de alúmina para aislamiento.
Certificados y honores
Nuestros expertos poseen 20 años de experiencia en investigación y desarrollo en el desarrollo y fabricación independientes de materiales cerámicos avanzados y cerámicas de precisión, logrando estándares de clase mundial-. Hemos sido reconocidos como una empresa nacional de alta-tecnología y somos un proyecto de talento líder en la ciudad de Shaoxing, conocida como la "Ciudad natal de los académicos".
Seguimos estrictamente el sistema de gestión de calidad ISO 9001 para garantizar la coherencia:
- Inspección 100% de materia prima.
- Líneas de producción avanzadas de prensado en caliente-
- -Pruebas internas: análisis de densidad, dureza y microestructura
- Certificaciones-de terceros (SGS, CE, ROHS disponibles previa solicitud)
fuerza de fábrica
Poseemos experiencia técnica avanzada en procesos de sinterización, conformado, rectificado, mecanizado CNC, taladrado láser, rectificado y pulido, lo que nos permite personalizar diversos productos cerámicos según las especificaciones del cliente. Nuestros talleres digitales y fábricas inteligentes, equipadas con-sistemas de recopilación de datos en tiempo real, aprovechan los principios de producción eficiente para minimizar los residuos y maximizar la eficiencia de los recursos. Al integrar tecnología de mecanizado CNC, IoT industrial y sistemas de control automatizados, logramos una conectividad perfecta y una operación colaborativa entre los equipos de producción, maximizando así los ahorros en la producción.
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