Anillo de enfoque de carburo de silicio

El sistema de fabricación por deposición química de vapor (CVD) produce carburo de silicio por deposición química de vapor que es superior a cualquier carburo de silicio actual. Las ventajas de alta-productividad del SiC de alto-rendimiento incluyen extender la vida útil de los equipos de fabricación, reducir el tiempo de inactividad, eliminar la contaminación y aumentar el rendimiento...

Los anillos de deposición de cerámica de alúmina sirven como componentes consumibles críticos dentro de las cámaras de reacción de los equipos de deposición química de vapor (CVD) y de deposición física de vapor (PVD)-dispositivos centrales en la fabricación de chips semiconductores. Sus demandas de selección de materiales y aplicaciones son excepcionalmente estrictas. Normalmente se instalan alrededor de portadores de obleas (mandriles electrostáticos), y forman parte del espacio de reacción del proceso. En el exigente entorno de fabricación de semiconductores, la función principal del anillo de deposición es proteger los costosos componentes centrales (como los mandriles electrostáticos) de la contaminación y la deposición de subproductos del proceso, garantizar la uniformidad del proceso y mantener la limpieza y estabilidad de la cámara. Su rendimiento afecta directamente el tiempo de actividad del equipo, los costos de mantenimiento y el rendimiento final del chip. Dichos componentes entran en la categoría de mecanizado de cerámica de alúmina de precisión, lo que exige requisitos estrictos para la alta pureza y el rendimiento superior del material cerámico de alúmina.

Silicon Carbide Focus Ring

Parámetro de rendimiento de la cerámica.

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Propiedades clave

Resistencia a la corrosión excepcional: Capaz de resistir la erosión de diversos gases de plasma corrosivos y altamente reactivos utilizados en procesos CVD/PVD, lo que garantiza una vida útil prolongada.
Resistencia superior a altas-temperaturas: Mantiene la estabilidad estructural y el rendimiento a temperaturas de proceso que alcanzan cientos o incluso miles de grados Celsius sin deformarse ni fundirse, lo que demuestra sus características como cerámica de alúmina de alta-temperatura.
Alta pureza y baja contaminación: las cerámicas de alúmina de alta-pureza (p. ej., 99,9 % o más) minimizan la liberación de contaminantes como iones metálicos del propio material a la cámara de proceso en condiciones de plasma y temperatura altas-, lo que evita la contaminación de las obleas.
Excelente resistencia mecánica y dureza: Posee suficiente rigidez para mantener la estabilidad dimensional mientras soporta tensiones mecánicas y fuerzas de instalación. Las propiedades mecánicas robustas forman la base de todas las formas-ya sean placas de cerámica de alúmina, varillas de cerámica de alúmina (barras de alúmina) o tubos de alúmina.
Aislamiento superior: Como material aislante, la cerámica de alúmina no interfiere con la función de adhesión del mandril electrostático para obleas, lo que garantiza la seguridad y estabilidad del proceso.
Conductividad térmica moderada: ayuda a homogeneizar el campo de temperatura dentro de la cámara y evita el sobrecalentamiento.
Alta precisión y maquinabilidad: mediante técnicas avanzadas de conformado cerámico y mecanizado de precisión, se pueden lograr formas complejas con una precisión dimensional y un acabado superficial excepcionales.

Aplicación del producto

Materias primas: requieren polvo de alúmina fino, especialmente para cerámicas de alúmina de alta-pureza. El óxido de aluminio (Al2O3) es la sustancia química base.
Conformado y Sinterización: Involucra a fabricantes de cerámica de alúmina que utilizan técnicas para producir piezas en bruto de cerámica de alúmina.
Mecanizado de precisión: realizado por especialistas en mecanizado de cerámica de alúmina o proveedores de piezas, transformando piezas en bruto en componentes finales como placas de cerámica de alúmina, varillas de cerámica de alúmina o piezas estructurales complejas de cerámica de alúmina.
Otras formas y aplicaciones: Más allá de los anillos de deposición, las cerámicas de alúmina tienen diversos usos como semiconductores, como sustratos cerámicos de alúmina (sustrato de al2o3) para embalajes, membranas cerámicas de alúmina y tubos de fibra de alúmina para aislamiento.